機床激光干涉儀

一. 機床激光干涉儀概述

機床激光干涉儀是以光波為載體，以光波波長為單位的一種計量、檢測儀器，通過與不同的光學組件結(jié)合，可以實現(xiàn)對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何量的精密測量；在相關軟件的配合下，還可以對數(shù)控機床進行動態(tài)性能檢測，如可以測量數(shù)控機床的定位精度、重復定位精度、微量位移精度等動態(tài)參量，可以進行機床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態(tài)特性分析，驅(qū)動系統(tǒng)的響應特性分析，導軌的動態(tài)特性分析等。

此前，國產(chǎn)與國外的產(chǎn)品有著一定的差距。SJ6000的上市將打破這一局面，大大降低企業(yè)的檢測成本。中圖儀器SJ6000以技術(shù)實力為依據(jù)，在測量精度、測量速度、測量類型等方面為用戶提供了更多選擇。

二. SJ6000功能特點

1. 測量精度高：以激光干涉技術(shù)為核心，分辨率可達納米級；采用高精度環(huán)境補償模塊，解決溫度、空氣壓力、相對濕度、材料溫度等環(huán)境因素對測量結(jié)果的影響；使用激光熱穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，保證激光長期穩(wěn)頻精度；干涉鏡與主機分離設計，避免干涉鏡受熱變形，保證干涉光路穩(wěn)定。

2. 具有實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度等幾何量的檢測功能。可以檢測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設備運動導軌的線性定位精度、重復定位精度等；同時也能檢測運動導軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度；并且可滿足回轉(zhuǎn)軸分度精度的測量。

3. 可根據(jù)用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，滿足機床誤差修正的要求。

4. 具有動態(tài)測量（位移-時間曲線、速度-時間曲線、加速度-時間曲線）及測量振幅和頻率分析的功能，可進行機床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態(tài)特性分析，驅(qū)動系統(tǒng)的響應特性分析，導軌的動態(tài)特性分析等。

5. 內(nèi)置各種類國標（GB）、ISO（）、BS（英制）、美標、DIN（德標）、JIS（日標）等機床檢驗標準。可依據(jù)各種機床標準分析處理數(shù)據(jù)，并根據(jù)測量結(jié)果可打印相應的曲線圖和數(shù)據(jù)報告。

6. 可自動監(jiān)測環(huán)境溫度、材料溫度、環(huán)境濕度和大氣壓力的參數(shù)。可選擇手動或自動對波長進行環(huán)境補償。

7. 測量記錄采用集中式數(shù)據(jù)庫管理，可按被測件類型、生產(chǎn)單位、出廠編號、檢定員、送檢單位、設備編號、檢定日期和有效日期等查詢和管理檢定記錄；可將檢定數(shù)據(jù)輸出到Word、Excel、AutoCAD（選配）文檔。

8. 安裝方便：基本重量為15kg，簡單便攜。

三. SJ6000技術(shù)參數(shù)

四. SJ6000使用說明

1、 必須定人保管，機加技術(shù)組人員專人，專人送檢，他人不得隨意動用，以防損壞，降低精度。

2、 要設置專庫存放，環(huán)境要求干燥、通風、防震、防霧、防塵、防銹。儀器應保持干燥。各種儀器均不可受壓、受凍、受潮或受高溫，儀器箱不要靠近火爐或暖氣管。

3、 對儀器要小心輕放，避免強烈的沖擊震動，安置儀器前應檢查三腳架的牢固性，整個作業(yè)過程中工作人員不得離開儀器，防止意外發(fā)生。

4、 應避免在溫度變化大、有風、潮濕環(huán)境下測量，此時檢測結(jié)果將收到很大的影響。

5、 中圖所配用的筆記本為筆記本，該筆記本不得外借，也不能安裝任何其他軟件，防止軟件沖突和病毒，保障測量數(shù)據(jù)的準確，以防測量數(shù)據(jù)丟失。

6、 測量人員在拿取干涉儀之前，需先填寫使用申請單，填寫申請表后，負責人需先檢查干涉儀器件完整與否，器件是否良好。然后再得到部門簽字后，方可使用。對其他部門人員如借用，需填寫借用干涉儀使用申請單，負責人需先檢查干涉儀器件完整與否，器件是否良好。然后再得到部門簽字后，方可借用。當干涉儀使用后，將要存庫時，負責人必須點清器件，且所有器件良好，此時才能將干涉儀入庫備案。

7、 負責人要每月對的器件進行清點，并查看是否有損壞、磨損等異常情況，將檢查報告予以備案。