材料共聚焦顯微鏡系統

中圖儀器VT6000材料共聚焦顯微鏡系統主要用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量，如材料表面的粗糙度、微觀形貌、幾何輪廓等參數的測量，具有直觀測量的特點，能夠有效提高工作效率，更加快捷準確地完成日常任務。廣泛用于半導體制造、3C電子、航空航天等超精密加工領域中。

一、產品功能

1、3D+2D全維度測量：同步實現微觀3D形貌表征與二維平面尺寸（長度、角度、半徑等）測量，一份設備滿足多維度檢測需求。

2、大區域高效檢測：自動拼接功能覆蓋廣范圍測量場景，無需手動拆分，避免數據斷層，提升檢測完整性。

3、智能化數據處理：調整、糾正、濾波、提取四大模塊+五大分析工具（粗糙度/幾何輪廓/結構等），數據處理一步到位，支持自定義模板批量分析。

4、便捷化操作體驗：集成X/Y/Z三軸操縱桿，可快速完成平移、聚焦，支持速度調節與光源亮度控制，新手也能快速上手。

5、安全防護升級：鏡頭彈簧結構+壓力傳感器，碰撞后自動急停；無人值守時光源智能熄滅，兼顧設備保護與節能。

二、可測材料

針對國內工業材料的多樣性與復雜性，VT6000共聚焦顯微鏡進行了深度場景化優化。無論是光滑/粗糙表面、低/高反射率材質，還是半導體晶圓、3C玻璃屏、汽車精密配件、微納復合材料等不同類型工業材料，均可實現精準測量，涵蓋粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率、體積等核心參數。更提供多型號選擇，從100×100mm到300×300mm的XY軸行程，搭配真空吸盤、電動位移臺等配置，適配從小型精密器件到大型工業部件的全尺寸測量需求，無需依賴進口設備的定制化改造。

三、定制化解決方案

不同工業企業的測量場景與需求存在差異，國產共聚焦顯微鏡支持靈活定制服務：可根據企業需求選配5×、20×、100×（APO）等不同規格物鏡，加裝彩色影像系統、計量機構校準證書等配件；軟件支持自定義分析模板，適配批量樣品檢測、多區域同步測量等個性化場景；針對特殊工業材料（如高反射率金屬、低對比度薄膜），可提供專屬測量方案優化，讓設備貼合企業生產與研發流程。

四、應用案例

1.半導體制造：檢測晶圓微觀形貌，粗糙度測量重復性≤12nm，助力提升芯片封裝良率，已服務多家頭部半導體企業。

2.3C電子玻璃屏：通過自動拼接功能實現200×200mm玻璃屏全域檢測，平面度測量精度達0.1nm，檢測效率提升40%。

3.汽車零部件：針對精密齒輪、傳感器等部件，完成微觀幾何輪廓與粗糙度檢測，數據符合國際標準，保障零部件裝配精度。

4.科研院所：為微納材料、MEMS器件研發提供精準測量數據，支持結構分析、頻率分析等深度研究需求。

注：產品參數與配置可能因技術升級調整，具體以實際溝通為準。

VT6000材料共聚焦顯微鏡系統已廣泛應用于超精密加工、航空航天、科研院所等領域。如需獲取對應行業的詳細應用案例、型號參數對比表或專屬報價，歡迎聯系中圖儀器。也可直接私信留言，為你提供一對一解決方案！