5Å重復(fù)性臺(tái)階高度儀

NS系列5?重復(fù)性臺(tái)階高度儀0.01埃分辨率，5?超高精度精準(zhǔn)測(cè)量微觀檢測(cè)微觀輪廓。搭載線性可變差動(dòng)電容傳感器（LVDC），在半導(dǎo)體、光伏、MEMS等精密制造與科研領(lǐng)域一站式解決多場(chǎng)景微觀參數(shù)檢測(cè)需求。

一、核心優(yōu)勢(shì)

1.超高精度，數(shù)據(jù)無(wú)偏差

13μm量程下實(shí)現(xiàn)0.01埃分辨率，5?超高解析力，精準(zhǔn)捕捉幾納米至幾百微米的臺(tái)階形貌，為嚴(yán)苛檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)提供硬核數(shù)據(jù)支撐。

2.全能檢測(cè)，無(wú)需多設(shè)備

同步完成臺(tái)階高度（納米-1050μm）、表面粗糙度（Ra/Rz等數(shù)十項(xiàng)參數(shù)）、膜層厚度及應(yīng)力分布測(cè)量，覆蓋工藝全流程檢測(cè)需求，簡(jiǎn)化操作流程。

3.全域適配，降低投入成本

不受被測(cè)樣品反射率、材料種類(lèi)、硬度限制，廣泛適配半導(dǎo)體、太陽(yáng)能光伏、光學(xué)加工、LED、MEMS器件等多行業(yè)，避免設(shè)備閑置浪費(fèi)。

4.智能高效，提升檢測(cè)產(chǎn)能

支持單區(qū)域、多區(qū)域批量測(cè)量及3D可視化重建，搭配SPC統(tǒng)計(jì)分析功能，批量樣品一鍵檢測(cè)，數(shù)據(jù)趨勢(shì)直觀呈現(xiàn)，減少人工干預(yù)。

二、核心功能

1.全流程參數(shù)檢測(cè)，適配多元工藝

（1）臺(tái)階高度測(cè)量：精準(zhǔn)量化蝕刻、濺射、沉積、CMP等工藝的材料沉積/去除量，保障工藝穩(wěn)定性與一致性。

（2）粗糙度&波紋度分析：通過(guò)微觀輪廓曲線計(jì)算多維度參數(shù)，滿(mǎn)足高精密產(chǎn)品質(zhì)量管控要求。

（3）表面應(yīng)力檢測(cè)：兼容金屬、薄膜、微納材料等多種材質(zhì)，為材料性能評(píng)估與研發(fā)創(chuàng)新提供關(guān)鍵數(shù)據(jù)。

2.智能化測(cè)量模式，兼顧效率與精準(zhǔn)

（1）單區(qū)域快速檢測(cè)：影像導(dǎo)航定位，聚焦后一鍵啟動(dòng)，快速完成單點(diǎn)精準(zhǔn)測(cè)量，適配小批量樣品檢測(cè)。

（2）多區(qū)域批量測(cè)量：陣列式掃描路徑設(shè)置，橫向縱向自由調(diào)整，批量樣品自動(dòng)完成全點(diǎn)位檢測(cè)，提升檢測(cè)效率30%以上。

（3）3D可視化呈現(xiàn)：自動(dòng)完成掃描面全覆蓋檢測(cè)與3D圖像重建，微觀形貌直觀可溯，便于工藝問(wèn)題排查。

（4）SPC統(tǒng)計(jì)分析：生成批量數(shù)據(jù)變化趨勢(shì)圖表，為質(zhì)量追溯與工藝優(yōu)化提供數(shù)據(jù)依據(jù)，助力精益生產(chǎn)。

3.便捷設(shè)計(jì)，降低使用與維護(hù)成本

（1）雙導(dǎo)航光學(xué)影像系統(tǒng)：500W像素彩色相機(jī)（正視/斜視可選），掃描路徑精準(zhǔn)規(guī)劃，軌跡實(shí)時(shí)跟進(jìn)，避免測(cè)量偏差。

（2）快速換針技術(shù)：磁吸式測(cè)針設(shè)計(jì)，現(xiàn)場(chǎng)秒級(jí)更換，搭配軟件快速標(biāo)定功能，保障換針后精度與重復(fù)性，減少停機(jī)維護(hù)時(shí)間。

磁吸針實(shí)物外觀圖（330μm量程）

三、行業(yè)應(yīng)用

1.半導(dǎo)體制造

沉積/蝕刻薄膜厚度檢測(cè)、CMP工藝表面平整度管控、抗蝕劑臺(tái)階高度分析，助力芯片良率提升。

2.光伏&顯示面板

太陽(yáng)能涂層膜厚測(cè)量、AMOLED屏微結(jié)構(gòu)檢測(cè)、觸控面板銅跡線精度分析，適配新能源與顯示產(chǎn)業(yè)升級(jí)需求。

3.MEMS&微納材料

微型傳感器形貌表征、柔性電子器件薄膜厚度檢測(cè)，支撐微納技術(shù)研發(fā)與量產(chǎn)質(zhì)控。

4.科研與高校

材料表面應(yīng)力分析、微加工工藝研發(fā)數(shù)據(jù)采集，加速科研項(xiàng)目落地與技術(shù)轉(zhuǎn)化。

四、實(shí)戰(zhàn)案例：光伏ITO導(dǎo)電薄膜高效檢測(cè)方案

針對(duì)太陽(yáng)能光伏行業(yè)ITO導(dǎo)電薄膜測(cè)量需求，NS200臺(tái)階儀定制化解決痛點(diǎn)：

1.全電動(dòng)載物臺(tái)+360°旋轉(zhuǎn)臺(tái)，快速定位測(cè)量標(biāo)志位，大幅縮短定位時(shí)間；

2.自定義多區(qū)域測(cè)量模式，批量樣件一鍵完成多點(diǎn)位檢測(cè)，減少重復(fù)操作；

3. SPC統(tǒng)計(jì)分析功能，直觀呈現(xiàn)測(cè)量數(shù)據(jù)變化趨勢(shì)，為工藝調(diào)整提供數(shù)據(jù)支撐。

NS系列5?重復(fù)性臺(tái)階高度儀以精準(zhǔn)、高效、適配、智能為核心，為客戶(hù)提供全場(chǎng)景微觀測(cè)量解決方案。如需了解產(chǎn)品詳細(xì)參數(shù)、申請(qǐng)樣品測(cè)試或定制行業(yè)專(zhuān)屬檢測(cè)方案，歡迎隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器。

（注：產(chǎn)品參數(shù)與功能將隨技術(shù)升級(jí)持續(xù)優(yōu)化，具體以實(shí)際溝通為準(zhǔn)）