晶圓測量儀設備

WD4000晶圓測量儀設備非接觸+三維微納形貌一體測量，全周期售后服務賦能超精密加工。在襯底制造、晶圓制造、及封裝工藝檢測、3C 電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、顯示面板、MEMS 器件等超精密加工行業，自動測量 Wafer 厚度、表面粗糙度、三維形貌、單層膜厚、多層膜厚。

一、核心價值

針對超精密加工行業多設備測量繁瑣、易損傷工件、數據不同步、售后響應滯后等痛點，WD4000以“非接觸厚度+三維微納形貌一體測量"為核心，1臺設備覆蓋厚度、TTV、粗糙度、三維形貌等全參數檢測。保障亞納米級測量精度與工件完整性，同時節省設備投入與場地成本、提升30%以上檢測效率。更以全周期售后服務體系，解決使用過程中的技術顧慮與運維難題。

二、核心賣點

1.非接觸測量技術

適配碳化硅、藍寶石、氮化鎵、硅等多種精密材料，測量過程不接觸工件表面，從源頭避免劃傷、磨損等損傷，保障待測物品質。搭配高分辨率光譜共焦對射技術，厚度測量精準度高，滿足從納米到微米級的嚴苛檢測需求。

2.一體集成設計

同步集成厚度測量模組與三維形貌、粗糙度測量模組，無需多設備切換與數據拼接，一次性完成厚度、TTV、LTV、BOW、WARP、粗糙度及三維形貌等核心參數測量。減少設備占地面積的同時，避免多設備數據偏差，提升檢測流程連貫性與數據一致性。

三、產品優勢

1.高精度保障

融合光譜共焦對射+白光干涉雙重技術，Z向分辨率達0.1nm，亞納米級局部高度測量能力，適配SEMI/ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準，覆蓋300余種2D、3D評價參數，數據可追溯，滿足行業合規檢測要求。

2.高效適配性

400x400x75mm大行程龍門結構，最大移動速度500mm/s，檢測效率翻倍；兼容最大12寸晶圓，適配光滑/粗糙、低反射/高反射等多種表面特性工件，可靈活應對襯底制造、封裝檢測等多場景需求。

3.穩定可靠

采用高精度花崗巖基座與橫梁，搭配獨特隔振設計，有效抵御地面振動與空氣聲波干擾，測量重復性優異；關鍵運動機構配備高精度直線導軌與AC伺服直驅電機，搭配0.1μm分辨率光柵系統，長期運行穩定性有保障。

4.易用性設計

集成XYZ三向位移調整操縱手柄，快速完成載物臺平移與Z向聚焦；雙重防撞設計避免誤操作損傷物鏡與工件，電動物鏡切換功能簡化觀察流程，降低操作人員學習成本，搭配專屬售后培訓，快速上手無壓力。

5.自動化能力

支持Mapping跟隨技術，可編程實現多點、線、面自動測量；機器視覺技術精準識別圖像Mark點，虛擬夾具自動擺正樣品，兼容掃碼槍輸入與CNC測量模式，適配批量生產場景，大幅減少人工干預，提升檢測效率與一致性。

四、功能詳情

1.測量與分析功能

（1）測量模塊：覆蓋厚度、三維形貌、粗糙度、平面度、微觀幾何輪廓等全維度檢測需求；

（2）數據處理：提供調整位置、糾正、濾波、提取四大模塊，支持圖像校平、去噪、剖面提取等精細化操作；

（3）深度分析：包含幾何輪廓、粗糙度、結構、頻率、功能五大分析維度，滿足形位公差評定、ISO標準全參數分析等專業需求。

2.數據管理與輸出

（1）集中管理測量記錄，支持按工件型號、檢測日期、識別碼等多維度查詢；

（2）輸出Excel/Word/TXT/SPC等多種格式報表，附帶Mapping圖、控制圖及CA/PPK/CPK等統計值；

（3）兼容SECS/MES系統傳輸，支持定制遠程數據對接，無縫融入工廠現有生產體系。

五、適用場景與行業

1.核心應用行業

襯底制造、晶圓制造、封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及精密配件、光學加工、顯示面板、MEMS器件等超精密加工領域。

2.適配工件特性

涵蓋納米到微米級工件，兼容光滑至粗糙、低反射率至高反射率表面，支持從6寸到12寸等多種規格晶圓及精密配件檢測，應用場景廣泛。

六、實測案例展示

七、技術參數規格

八、全周期售后服務

1.定制化前期支持

（1）售前技術對接：專業工程師一對一溝通需求，提供定制化檢測方案與設備配置建議；

（2）免費演示驗證：支持寄送樣品進行實測演示，直觀呈現測量效果與數據精度；

（3）場地規劃指導：根據工廠布局與生產流程，提供設備安裝場地規劃與前期準備建議。

2.安裝與培訓

（1）上門安裝調試：專業技術團隊上門完成設備安裝、校準與調試，確保設備達到最佳測量狀態；

（2）定制化培訓：針對操作人員、技術維護人員開展分層培訓，涵蓋設備操作、參數設置、日常維護、故障排查等內容，培訓后進行考核，確保掌握核心技能；

（3）培訓資料支持：提供詳細操作手冊、視頻教程、常見問題手冊，方便后期隨時查閱學習。

3.全周期運維保障

（1）定期維護服務：每年2次上門巡檢維護，包含設備精度校準、部件檢查、軟件優化等，提前規避故障風險；

（2）快速響應售后：7×24小時售后熱線與在線技術支持，工作日內2小時快速響應，4小時內提供解決方案，緊急情況24小時內上門處理；

（3）備件保障服務：核心零部件常備庫存，承諾48小時內備件送達，減少設備停機時間；

（4）軟件升級：提供軟件功能免費升級服務，同步行業標準與技術迭代，保障設備長期適配檢測需求。

4.合規與資質保障

（1）設備資質齊全：通過相關行業認證，符合SEMI/ISO等國際標準，檢測數據具備法律效力；

（2）售后團隊認證：所有售后工程師均經過專業培訓與考核，具備豐富的設備運維經驗，保障服務專業性。

中圖儀器WD4000晶圓測量儀設備從采購到報廢，全周期售后服務全程護航。無論是研發升級、批量質檢還是現場檢測，都能精準匹配你的核心需求。注：產品參數與服務可能根據技術升級實時更新，具體以新標準為準，詳情可咨詢客服獲取完整資料。