系統級精度激光尺

中圖儀器PLR3000系列系統級精度激光尺以激光干涉核心技術+硬核數據支撐，分辨率可達10nm，線性精度高達0.2ppm，為復雜工業場景提供精準、可靠的位置反饋與控制。在超精密加工、微電子制造、光刻技術、航空航天等高要求領域廣泛應用。

相比傳統鋼帶尺或玻璃光柵，光纖激光尺具有更加精確的柵距和更高的分辨率，同時其熱源隔離設計，保證了更高的穩定性，具有安裝快捷，易于準直等特點。

一、核心數據

1.精度天花板

10nm高分辨率（支持外部拓展），PRO版線性精度達0.2ppm（普通版0.5ppm），穩頻精度低至0.02ppm，相當于4米測量距離誤差僅0.8μm，滿足納米級生產檢測需求；

2.全場景適配

最大量程4m（可按需拓展），動態測量速度支持2m/s，覆蓋從靜態實驗室檢測到高速生產線聯動的全場景；

3.環境抗干擾

一體化環境氣象站實時補償溫度（10-40℃）、氣壓（650-1150mbar）、濕度（0-95%無凝露）影響，實測在-10℃至45℃工況下，數據穩定性仍保持±0.1ppm以內；

4.靈活安裝設計

激光主機（2.8Kg）與探頭（460-500g）分離，3m鎧裝光纖連接（可定制長度），狹小空間安裝無壓力，阿貝誤差降低60%以上。

三、核心優勢

1. 精度碾壓傳統方案

柵距精度是玻璃光柵的3倍，分辨率比鋼帶尺高100倍，環境適應性覆蓋傳統設備無法應對的工況；

2. 靈活定制無門檻

支持單/雙/三軸輸出，可選差分/平面鏡/角錐棱鏡探頭（最高分辨率0.5nm），量程、線纜長度均可定制，適配90%以上復雜場景；

3. 安裝使用省成本

體積小巧（探頭僅手掌大小），準直調整角度達±1.5°，安裝調試時間縮短50%，無需專業技術團隊即可完成部署；

4. 雙重使用價值

PLR3000系列系統級精度激光尺既可作為獨立激光干涉儀測量，也可接入系統實現閉環位置反饋控制，一臺設備滿足多重需求。

四、應用案例

1. 半導體制造：光刻機晶圓精準定位、精密工件臺閉環反饋，助力芯片制造良率提升

2. 航空航天：發動機葉片形變檢測、高精度裝配校準，保障核心部件可靠性

3. 精密加工：數控機床多軸聯動位置反饋、微機械元件測量，提升加工精度與效率

4. 科研領域：光學平臺穩定性監測、超精密實驗設備控制，支撐前沿研究數據精準度

注：產品參數將隨技術迭代優化，相關內容可能實時更新，恕不另行通知，敬請諒解。

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