高分辨率SEM掃描電鏡

中圖儀器CEM3000系列高分辨率SEM掃描電鏡用于對樣品進行微觀尺度形貌觀測和分析。它空間分辨率出色和易用性強，用戶能夠非常快捷地進行各項操作。甚至在自動程序的幫助下，無需過多人工調節，便可一鍵得到理想的拍攝圖片。

CEM3000系列上還運用了快速抽放氣設計，讓用戶在使用時不再等待，且全系列可選配低真空系統，以便精準調節樣品倉內真空度，滿足不同樣品的觀測需求。

性能特色

1.高易用性快速成像、一鍵成片，無需過多人工調節。

2.超高分辨率優于4nm(SE)，優于8nm(BSE)@20kV。

3.超大景深毫米級別景深，具有高空間分辨率。

4.多探測器可實現四分窗同時掃描成像。

5.抗振性能優異。

產品功能

1）臺式電鏡緊湊的外型，CEM3000系列臺式掃描電鏡能夠不受場地尺寸制約，真正做到了空間適用性，用戶甚至可以將其就近擺放在自己的桌面上。同時CEM3000也能根據用戶需求，輕松移機，一臺機器多處開花；

2）高分辨率，能夠對微尺寸特征進行觀測分析，滿足用戶的觀測需求；

3）快速抽放氣，憑借真空系統設計，該系列臺式電鏡縮短了用戶抽放氣的等待時間；

4）高易用性，能夠快速成像、一鍵出片，用戶使用自動調節功能，無需過多人工操作，就可得到高質量拍攝圖片；

5）大樣品倉，CEM3000A在保證較小外型尺寸同時，具有比肩立式電鏡的大倉室，從而容納更大尺寸樣品；

6）高抗振防磁性能，全系列電鏡均具有優秀的抗干擾能力，特別是CEM3000B使用本公司技術，基于復合抗振手段，將掃描電鏡抗振性能提升到了新的高度；

7）可選配低真空模式，保證用戶能夠根據需要設定電鏡樣品倉內真空度，進而對不同類型的樣品進行觀測；

8）能夠提供多種成像參數供用戶選擇，滿足專業用戶的調節需求；

9）搭配有多種探頭，能夠對樣品進行多種手段的分析。

應用領域

該電鏡外型緊湊，空間適用性強，整機采用大量的抗干擾設計，避免使用環境造成的影響，拓寬了應用范圍。同時，該系列臺式電鏡具有非常豐富的自動調節功能，能夠對不同類型的樣品進行觀測，具有高空間分辨率。

用戶可在CEM3000系列臺式掃描電鏡上搭配不同的探頭，同時接收多種信號，對樣品進行分析。

應用范例：

產品型號

CEM3000系列臺式掃描電鏡，設有CEM3000A（大樣品倉）、CEM3000B（抗振型）兩款子機型，分別在樣品倉容量、抗振性方面進行了強化加深和技術拉通，兩者具有高通用性，但又各有千秋。

CEM3000系列高分辨率SEM掃描電鏡為客戶提供更適合的產品方案，讓用戶在進行分析時更加得心應手。

部分技術指標

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