高速激光干涉儀

SJ6000高速激光干涉儀采用高性能的穩頻氦氖激光器，采用邁克爾遜干涉原理的測量儀器。具有測量精度高、量程大、速度快、靈敏度高、抗擾力強等優點。在計量領域中可作為長度基準以及設備校準工具。廣泛應用于數控機床、激光打標/切割、三坐標、影像儀、精密測量、自動化、機器人、3D打印等領域。

SJ6000高速激光干涉儀結合不同的光學鏡組，可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在動態測量軟件配合下，可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析，如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。

產品配置

SJ6000激光干涉儀系統具有豐富的模塊化組件，可根據具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉臺。

▲主要鏡組圖

其中，線性鏡組為標配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構成。可滿足線性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償。

技術規格

測量功能

1.可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；

2.可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

3.可實現龍門機床雙軸同步測量；

4.可實現對機床回轉軸的測量與校準；

5.可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據；

6.具有動態測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等；

7.支持手動或自動進行環境補償。

對機床精度再校準

激光干涉儀對機床運動導軌和滾珠絲桿的各項參數檢測分析、校準補償的重要性，而機床在裝配、加工、生產的同時需要頻繁的使用到激光干涉儀，來進行多種幾何量精度參數的測量以及動態性能的測試、分析。