三維光學輪廓儀

SuperViewW1三維光學輪廓儀采用光學干涉技術、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統，具有高精度、高重復性特點。一體化操作的測量分析軟件，以及集成X、Y、Z三個方向位移調整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。

儀器分辨率0.1μm，重復性0.1%，應用領域廣泛，操作簡便，可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數，適用于各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、孔隙間隙、臺階高度、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、波紋度、面形輪廓、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

輪廓分析步驟

1.將樣品放置在載物臺鏡頭下方；

2.檢查電機連接和環境噪聲，確認儀器狀態；

3.使用操縱桿調節Z軸，找到樣品表面干涉條紋；

4.微調XY軸，找到待測區域，并重新找到干涉條紋；

5.完成掃描設置和命名等操作；

6.點擊開始測量（進入3D視圖窗口旋轉調整觀察一會）；

7.臺階樣品分析第一步：校平；

8.進入數據處理界面，點擊“校平"圖標，和平面樣品不同，臺階樣品需手動選取基準區域，選好基準區域后，先“全部排除"再“包括"；

9.若樣品表面有好幾處區域均為平面且高度一致，可多選擇幾個區域作為基準面進行校平；

10.臺階高度測量：線臺階高度測量

11.進入分析工具界面，點擊“臺階高度"圖標，即可直接獲取自動檢測狀態下的面臺階高度相關數據；

12.在右側點擊“手動檢測"，根據需求選擇合適的形狀作為平面1和平面2的測量區域，數據欄可直接讀取兩個區域的面臺階高度數值；

13.臺階高度測量：線臺階高度測量

14.進入數據處理界面，點擊“提取剖面"圖標，使用合適方向的剖面線，提取目標位置的剖面輪廓曲線；

15.進入分析工具界面，點擊“臺階高度"圖標，由于所測為中間凹槽到兩側平面高度，因此點擊右側工具欄，測量條對數選擇“2"，將紅色基準線對放置到凹槽平面中間，兩對測量線對分別放置在兩側平面，即可在數據纜讀取臺階高度數據。

SuperViewW1三維光學輪廓儀除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，具有的測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應變測量以及表面形貌測量。是目前三維形貌測量領域高精度的檢測儀器之一。