激光干涉儀器設備

中圖儀器激光干涉儀器設備采用氦氖激光器作為光源。其精度高，扛擾力強，降低了對環境條件的要求，空氣湍流、熱波動等影響甚微，因此使它不僅能用于實驗室，還可在車間條件下測量大距離用。

系統組件

1、激光主機

精準——激光頻率穩定度高，可溯源至國家標準。

SJ6800激光主機由DC12V電源適配器供電，輸入電壓范圍在100V-240V之間皆可正常工作。

支持USB通信接口，可與計算機高速通信，兼容USB3.0接口和USB2.0接口。

配備的SCSI接口，可提供外部觸發信號輸入和正交信號輸出，以及其它擴展應用。

2、EC20環境補償單元

可靠——對空氣溫度、濕度、氣壓和材料溫度進行自動環境補償。

激光干涉儀是以激光波長為載體，測量過程中環境條件（空氣溫度、濕度、氣壓）的變化會影響激光波長。

EC20環境補償單元可實時檢測環境條件的變化，同事進行激光波長補償。

EC20環境補償單元可連接三個材料溫度探頭，監測被測對象其材料的溫度變化，同事進行材料的熱膨脹補償。

EC20環境補償單元采用低功耗設計，無需額外的供電電源，其工作電源集成于USB接口。

為了方便現場使用，EC20環境補償單元配備磁性掛板，溫度探頭的標準線長5m，亦可定制線長。

3、三腳架及便攜箱

中圖儀器激光干涉儀器設備具有測量精度高、測量速度快、高測速下分辨率高、測量范圍大等優點。測量分辨率0.01″，系統測量精度為±1″，基準WR50自動精密轉臺重復精度為0.2″。主要特點是小巧便攜、功能強、無線操作。

部分技術指標

線性測量

測量距離：(0~80)m (無需遠距離線性附件)

測量精度：0.5ppm (0~40)℃

測量分辨力：1nm

測量最大速度：4m/s

角度測量

軸向量程：(0~15)m

測量范圍：±10°

測量精度：±(0.02%R+0.1+0.25M)″ (R為顯示值，單位：″；M為測量距離，單位：m)

測量分辨力：0.1″

平面度測量

軸向量程：(0~15)m

測量范圍：±1.5mm

測量精度：±(0.2%R+0.02M2)μm (R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m)

基板尺寸：180mm可調，360mm可調

測量分辨力：0.1μm