表面光學輪廓儀

在微電子、微機械、微光學等領域，白光干涉儀可以提供更高精度的檢測需求。但白光干涉儀由于鏡頭視野較小，要想測量物體整個區域的表面情況，只能用自動拼接測量功能，但耗時較多，這時候可以用自動多區域測量功能，在樣品表面抽取多個測量區域進行測量，從而對樣品進行評估分析。

中圖儀器SuperViewW1表面光學輪廓儀自動拼接功能的使用，即不管是在光滑還是粗糙、平面亦或是異形結構，當必須測量超出適配鏡頭下的單視場區域時，都可以采用自動拼接，可根據不同表面特點進行重建算法的切換，無論何種形貌，都可生成3D全景。

測量方法很簡單：

1.點擊XY復位，使得SuperViewW系列表面光學輪廓儀的鏡頭復位到載物臺中心

2.將被測物放置在載物臺夾具上，被測物中心大致和載物臺中心重合；3.確認電機連接狀態和環境噪聲狀態滿足測量條件；4.使用操縱桿搖桿旋鈕調節鏡頭高度，找到干涉條紋；5.設置好掃描方式和掃描范圍；6.點擊選項圖標，確認自動找條紋上下限無誤；7.點擊多區域測量圖標，可選擇方形和（橢）圓形兩種測量區域形狀；9.根據被測物形狀和尺寸，"形狀"欄選擇“橢圓平面"，X和Y方向按需設置；10.點擊彈出框右下角的“開始"圖標，儀器即自動完成多個區域的對焦、找條紋、掃面等操作。

深圳市中圖儀器股份有限公司成立十多年來，一直堅持以技術創新為發展基礎，歷經了十多年的技術積累和發展實踐，在微納米運動設計制造、微納米顯微測量三維重建、顯微測量3D形貌分析、大尺寸三維空間測量、精密傳感測頭、光柵導軌測控等眾多技術領域形成了設計、制造優勢，具備了從納米到百米為用戶提供精密測量解決方案的能力。