非接觸光學輪廓儀

SuperView W3 非接觸光學輪廓儀可對測試樣品的表面微納形貌特征進行測量和分析，具有測量準確度高、應用范圍廣、智能化水平高等特點。產品經深圳市計量質量檢測研究院計量校準，技術指標參數滿足相關標準要求。

產品參數

產品型號：SuperView W3

產品名稱：白光干涉儀

原理：非接觸、三維白光掃描干涉儀

掃描裝置：長范圍，Z軸納米光柵控制

物鏡：Nikon，10×無限遠共軛干涉物鏡

物鏡座：5孔電動物鏡塔臺（標準）

測量陣列：1024*1024，工業級相機

Z軸：100mm行程，納米位移閉環反饋

安全性：系統集成緊急制動功能

樣品臺：0.1nm電動，俯仰傾斜±6°，電動調節，XY行程300*300；尺寸450*450mm，亞微米閉環反饋

生產企業：深圳市中圖儀器股份有限公司

技術指標

光學規格

SuperView W3 光學3D表面輪廓儀基于白光干涉儀原理研制而成，采用擴展型的相移算法EPSI，集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優點，單一模式即可適用于從超光滑到粗糙、平面到湖面等各種表面類型，讓3D測量變得簡單。

產品配置

產品特點

1）參數測量：粗糙度、微觀輪廓尺寸、角度、面積、體積、一網打盡；

2）環境噪聲監測：實時監測，納米波動，也無可藏匿；

3）雙重防撞保護：軟件ZSTOP和Z向硬件傳感器，讓“以卵擊石"也能安然無恙；

4）自動拼接：3軸光柵閉環反饋，讓3D拼接“天衣無縫"；

5）雙重振動隔離：氣浮隔振，吸音隔振，任你“地動山搖，我自巋然不動"。

白光干涉全自動光學3D表面輪廓儀是深圳市中圖儀器股份有限公司針對垂直掃描測量均勻采樣、環境干擾、中心波長標定、干涉條紋探測等技術難題，開展白光干涉垂直掃描光學系統優化設計、宏微驅動掃描技術、抗振動結構系統、高精度三維重建算法和測量分析軟件系統等關鍵技術研究。突破了雙模式復合三維測量光學測量技術，開發一種可同時實現白光干涉、聚焦成像的三維輪廓測量復合光學測量裝置，擴展測量儀器測量能力及應用范圍；攻克融合小波變換、正交解調的三維重建技術，開發干涉條紋自動搜索技術，較好地抑制非均勻采樣、環境振動干擾等因素的影響；研發雙通道氣浮振動隔離技術并設計氣浮隔振系統，提高測量系統的抗振動能力。

SuperView W3 非接觸光學輪廓儀具有創新性，在雙光路復合三維測量光學系統集成設計及全自動找尋干涉條紋方法方面達到不錯的水平。如今產品已產業化，在高校科研院所、3C消費類電子、超精密光學加工、半導體制造及封裝工藝檢測企業、MEMS器件、微納材料及制造、航天軍工等先進制造的各個領域得到應用，反映良好，取得顯著的社會經濟效益和生態環境效益。