中圖儀器白光干涉儀

白光干涉儀適合檢測的樣品按領域分為微納材料、超精密加工（機械、光學）、半導體封裝、消費電子類這四個領域。

其中消費電子類即智能電子產品的玻璃外殼、內嵌組裝要求比較高的超光滑薄片，如home鍵、手機攝像頭里的薄片；

半導體行業的整個產業鏈上的工藝流程是：硅棒經過一系列切削、打磨物理化學方法后獲得比較粗糙的硅片，經過單面拋光后即成為可進行蝕刻工藝（將IC芯片蝕刻到拋光面）的硅片，上述兩個步驟獲得的是半導體領域里原材料硅片，屬于來料部分，對拋光后的硅片拋光面粗糙度有要求，一般要求在1nm及以下。

中圖儀器白光干涉儀以白光干涉技術為原理，結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，獲取質量參數，可以達到納米級的檢測精度。

產品參數

對表面質量等級非常高的各種光學鏡片和玻璃等超精密加工產物進行測量，如果采用接觸式的輪廓儀，會劃傷器件表面，而一般的非接觸式光學影像方法，也沒有辦法克服它們的高透明度特性。但用中圖儀器白光干涉儀可以解決。

玻璃屏檢測

生活中智能手機、平板電腦、智能手表等日常的智能產品中常見的玻璃屏，需要對其表面粗糙度和輪廓進行檢測。以手機玻璃屏為例：

玻璃屏表面粗糙度檢測

藍寶石玻璃檢測

藍寶石有優良的物理和化學特性，常被用于制作成各種光學元件。其主要成分是氧化鋁（Al?O?），主要用于制成攝像頭保護鏡、棱鏡、表鏡等，加工出來的藍寶石玻璃分為雙面拋光和單面拋光兩種，表面粗糙度就是決定了拋光程度（即表面質量等級）的直接因素。

一片單面拋光藍寶石玻璃的光面和糙面的粗糙度檢測圖像及數據

“見一葉而知深秋，窺一斑而見全豹" 這句話用來形容中圖儀器SuperView W1光學3D表面輪廓儀，在超精密加工顯微測量場景中發揮的作用恰如其分。