非接觸3d光學輪廓儀

中圖SuperView W1非接觸3d光學輪廓儀，可測各類從低反射率到高反射率、超光滑到粗糙的物體表面，從納米到微米級別工件的微觀幾何輪廓、粗糙度、平整度、曲率等，提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價標準。

產品參數

非接觸3d光學輪廓儀以白光干涉技術為原理，對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量。它結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描，從而實現器件表面形貌3D測量。

工作原理

光源發出的光經過擴束準直后經分光棱鏡后分成兩束，一束經被測表面反射回來，另外一束光經參考鏡反射，兩束反射光匯聚并發生干涉，顯微鏡將被測表面的形貌特征轉化為干涉條紋信號，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。

相比接觸式測量方法具有測量速度慢、易劃傷測量表面和單一的光學非接觸測量方法難以完成對大面形或曲率較大的高反射曲面零件三維形貌的高精度測量的缺點，SuperView W1 3d光學輪廓儀實現了超精密加工高反射曲面三維形貌的高精度非接觸測量。

應用示例

產品性能特征

1、高精度、高重復性

光學干涉技術、精密Z向掃描模塊和優異的3D重建算法組成測量系統，以及能有效隔離頻率2Hz以上絕大部分震動的隔振系統，能保證儀器測量效果精度高、測量重復性高。

2、一體化操作的測量分析軟件

1）可視化窗口，便于用戶實時觀察掃描過程；

2）測量與分析同界面操作，無須切換，測量數據自動統計，實現了快速批量測量的功能；

3）幾何分析、粗糙度分析、結構分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全；

4）結合自定義分析模板的自動化測量功能，可自動完成多區域的測量與分析過程；

5）一鍵分析、多文件分析，自由組合分析項保存為分析模板，批量樣品一鍵分析，并提供數據分析與統計圖表功能；

6）可測依據ISO/ASME/EUR/GBT等標準的多達300余種2D、3D參數。

3、精密操縱手柄

集成X、Y、Z三個方向位移調整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。

4、雙重防撞保護措施

初級的軟件ZSTOP設置Z向位移下限位進行防撞保護外，和Z軸上的電子傳感器，保護儀器，降低人為操作風險。

5、雙通道氣浮隔振系統

既可以接入客戶現場的穩定氣源也可以接入標配空壓機，在無外接氣源的條件下也可穩定工作。