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CEM3000抗振防磁掃描電子顯微鏡確保高倍數下微觀特征(如60nm銀線、錫球焊接缺陷)清晰可辨,數據誤差率顯著降低,避免因成像模糊、數據失真導致的研發誤判、質檢漏檢等問題。從實驗室到生產線、從車間現場到狹小空間(手套箱/車廂),無論環境振動、磁場干擾如何變化,均能穩定輸出優于4nm(SE模式)的高清成像。
?SuperView W1系列中圖儀器白光干涉儀設備以0.1nm級分辨率、8μm/s掃描速度、300+種標準參數,可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。
NS系列5Å重復性臺階高度儀0.01埃分辨率,5Å超高精度精準測量微觀檢測微觀輪廓。搭載線性可變差動電容傳感器(LVDC),在半導體、光伏、MEMS等精密制造與科研領域一站式解決多場景微觀參數檢測需求。
中圖儀器CEM3000系列4nm高清快檢掃描電鏡“空間適配+高效精準+定制適配”的高效檢測硬核基礎,結合“全周期、快響應、強專業”的售后服務體系,為采購、使用、維護提供全周期保障。
中圖儀器VT6000系列微納材料共聚焦顯微鏡在半導體、3C電子、航空航天等超精密加工領域,3D+2D全維測量各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,一臺設備滿足多維度檢測需求。
中圖儀器CEM3000系列掃描電鏡優于4nm空間分辨率(SE模式),60nm銀線等微尺度特征清晰呈現,最高20萬倍放大倍數,覆蓋納米級觀測需求。用戶可在CEM3000系列60nm銀線微尺度觀測掃描電鏡上搭配不同的探頭,同時接收多種信號,對樣品進行分析。
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