SuperViewW1表面粗糙度光學測量儀采用經國家計量檢測研究院校準的臺階高標準片作為測量標準件，采用該標準片對儀器的檢測精度和重復性進行驗收，其中臺階高標準片高度在4.7um左右，測量精度要求為0.75%，重復精度要求0.1%（1σ）（測量15次獲取的數據標準差），主要用于對樣品表面的2D、3D形貌進行測量，主要測量參數為粗糙度、臺階高、幾何輪廓等。

SJ5718-R在線粗糙度儀具有精度高、使用方便、功能強等優(yōu)點，能夠對各種工件輪廓進行長度、高度、間距、水平距離、垂直距離、角度、圓弧半徑等幾何參數測量，并且具有的CNC功能能進行一系列操作自動化，可高效率地進行測量作業(yè)。

大量程粗糙度測量儀是一款表面粗糙度測量儀器；采用進口高精度光柵測量系統(tǒng)、高精度研磨導軌、高性能非接觸直線電機、音圈電機測力系統(tǒng)、高性能粗糙度測量模塊、高性能計算機控制系統(tǒng)技術，實現(xiàn)對各種工件表面粗糙度的測量和分析

小型粗糙度測量儀通過高精度研磨導軌、高性能直線電機保證測量的高穩(wěn)定性及直線度，采用進口高精度光柵測量系統(tǒng)建立工件表面粗糙度微觀輪廓的二維坐標，計算機通過修正算法對光柵數據進行修正，最終還原出工件粗糙度信息并以曲線圖顯示出來，通過軟件提供的分析工具可對粗糙度進行各種參數分析。

由于硅晶圓的粗糙度檢測精度已到亞納米量級，而在此量級上，接觸式輪廓儀和一般的非接觸式儀器均無法滿足檢測要求，只有結合了光學干涉原理和精密掃描模塊的SuperViewW1晶圓粗糙度檢測儀器才適用。

中圖儀器SuperViewW1 非接觸粗糙度測量儀分辨率0.1μm，重復性0.1%，可為樣品表面測量提供快速，便捷的非接觸式3D表面形貌測量解決方案。應用領域廣泛，操作簡便，可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數。