SuperViewW1光學3d表面輪廓儀器主要用于對樣品表面的2D、3D形貌進行測量，主要測量參數(shù)為粗糙度、臺階高、幾何輪廓，主要用于超精密加工行業(yè)。

SuperView W1三維光學成像輪廓儀測粗糙度對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面粗糙度形貌的3D測量。

SuperViewW1非接觸式三維光學輪廓儀器可以測到12mm，也可以測到更小的尺寸，XY載物臺標準行程為140*110mm，局部位移精度可達亞微米級別，鏡頭的橫向分辨率數(shù)值可達0.4um，Z向掃描電機可掃描10mm范圍，縱向分辨率可達0.1nm級別，因此可測非常微小尺寸的器件。

SJ5780一鍵粗糙度輪廓度測量儀是大量程、高精度的主動掃描式綜合輪廓測量儀器，可以全量程大范圍連續(xù)掃描，擁有長達數(shù)百毫米的持續(xù)爬坡能力。

?中圖儀器W系列3d表面輪廓測量儀可以對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

中圖儀器SuperViewW1三維輪廓測量儀可測2D/3D輪廓、粗糙度，300余種特征參數(shù)，在半導體、精密加工及微納材料等領域可得到廣泛應用，如光滑硅晶片表面粗糙度、精密非球面弧面線粗糙度、金字塔型磁頭夾角、微透鏡陣列曲率半徑等。