激光干涉儀的工作原理講解

　　它也是一個交流測試系統，當激光光束強度受環境影響發生變化時，其頻率不會受光強變化影響發生變化，也不會因電平變化造成干涉信號的頻率改變。因此，干擾能力強，精度高，測量結果可靠，在精度要求高的芯片光刻機、計量檢測和前沿科研領域得到廣泛應用。

　　激光干涉儀的基本原理與單頻激光干涉儀不同。激光器放在軸向磁場內，發出的激光為方向相反的右旋圓偏振光和左旋圓偏振光，其振幅相同，但頻率不同，分別表示為f1和f2。經分光鏡M1，一部分反射光經檢偏器射入光電元件D1作為基準頻率f基 (f基＝f1－f2)。另一部分通過分光鏡M1的折射光到達分光鏡M2的a處。頻率為f２的光束*反射，經濾光器變為線偏振光f２，投射到固定棱鏡M３并反射到分光鏡M2的b處。頻率為f1的光束折射經濾光器變為線偏振光f1，投射到可動棱鏡M4后也反射到分光鏡M2的b處，兩者產生相干光束。若M4移動，則反射光的頻率發生變化而產生“多卜勒效應，其頻差為多卜勒頻差Δf。

　　頻率為f’＝f1±Δf的反射光與頻率為f２的反射光在b處匯合后，經檢偏器射入光電元件D２，得到頻率為測量頻率f測＝f２－(f1±Δf)的光電流，這路光電流與經光電元件D１后得到頻率為f基的光電流同時經放大器進入計算機，經減法器和計數器，即可算出差值±Δf，并按下式計算出可動棱鏡M4的移動速度v和移動距離l。即可算出差值±Δf，并按下式計算出可動棱鏡M4的移動速度v和移動距離L。

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