激光干涉儀測量機床精度之線性測量

數控機床因為高精度、高效率、多功能等優點，廣泛應用于各行業中。為了保證機床的加工精度，需要用到激光干涉儀對它們做定期精度檢查，這樣才能保證加工產品的質量。

線性測量是激光干涉儀用來檢定機床定位精度的一種常見測量。

線性測量構建

進行線性測量需使用到“線性干涉鏡"（由分光鏡和角錐反射鏡A組 成）和“線性反射鏡"（角錐反射鏡B）。激光從SJ6000激光干涉儀主機（激光頭）出射，通過分光 鏡后將分成兩束激光，一束激光為通過角錐反射鏡A的參考光，另一束激光為通過角錐反 射鏡B的測量光，通過移動“線性反射鏡"可實現運動軸的線性測量。

線性測量原理構建圖

SJ6000激光干涉儀采用激光雙縱模熱穩頻技術，可以輸出高精度、抗擾力強、高穩定性的激光頻率。其線性測量可滿足(0?80)m范圍內的精密測量，主要應用于測量直線導軌的定位精度、重復 定位精度和反向間隙等。

數控機床的線性測量

數控機床傾斜軸的線性測量

線性測量步驟：

1、設置激光器系統以執行線性測量；

2、使激光束與機床的運動軸準直；

3、啟動自動環境補償功能，確保在軟件中輸入正確的材料膨脹系數；

4、測量和記錄機床的線性誤差；

5、分析數據。

注意事項

1、線性測量過程尤其是在測量與激光頭成直角的水平軸和垂直軸、斜軸的時候，光路調節困難，這時候就需要巧妙安裝反射鏡和折射鏡。

2、使用光靶能簡單準直激光束

3、在開始測量時，或者在返程測量時激光干涉儀不踩點，可能原因有：

（1）光強太弱；

（2）當返回測量時，激光干涉儀不采集數據。這時候要分析“越程"量設置是否正確，或是機床在程序運行中有沒有考慮“越程"。

4、線性反射鏡箭頭方向就是激光進行方向，一定要正確組合線性反射鏡組。

5、反射鏡組的一條邊棱與永磁體座盡量平行或垂直，這將為后面進行找正光源做好基礎。

6、激光頭預熱時間會根據氣溫的變化而變化，所以在測量數據前要保證在激光波長穩定后進行。

7、測試工作完成后，應先將激光頭電源關掉，關閉電腦。