中圖儀器SJ6000激光干涉儀在高精密直驅(qū)平臺上的應(yīng)用

高精密直驅(qū)平臺廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓檢測、微電子組件測試取放、DNA測序、激光加工等領(lǐng)域，定位精度要求高，線性位移100mm行程范圍內(nèi)定位誤差要求≤1μm。人類頭發(fā)直徑約70μm，就是要比人類頭發(fā)直徑的70分之1還要小，如此高定位精度的平臺測量和校準(zhǔn)普通檢測設(shè)備根本無法做到。

中圖儀器SJ6000激光干涉儀為客戶直驅(qū)平臺定位精度的測量和驗證提供了良好的解決方案，精度達(dá)到納米級，在穩(wěn)定的實驗條件下滿足了客戶測量和校準(zhǔn)的要求，提高了客戶產(chǎn)品的質(zhì)量和檢測效率，取得了不錯的市場反響。

測量時，根據(jù)直驅(qū)平臺移動模式設(shè)定好SJ6000軟件采集設(shè)置。測量時實時顯示測量誤差，完成后即時生成測量報告。報告顯示設(shè)備的定位精度在100nm內(nèi)，反向差值在40nm內(nèi)。

SJ6000激光干涉儀采用美國進(jìn)口高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊、幾何參量干涉光路設(shè)計、高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、高性能計算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，實現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測量。