激光干涉儀工作原理

SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品具有測量精度高、測量速度快、zui高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可以實(shí)現(xiàn)對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關(guān)軟件的配合下，還可以對數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動態(tài)性能檢測，可以進(jìn)行機(jī)床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態(tài)特性分析，驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析等，具有*的精度和效率，為機(jī)床誤差修正提供依據(jù)。

激光干涉儀工作原理如下：

激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡，然后分成兩道光束，一道光束( 參考光束) 射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道透射光束( 測量光束)則通過分光鏡射入第二個(gè)反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，重新匯聚之后返回激光器，其中會有一個(gè)探測器監(jiān)控兩道光束之間的干涉( 見圖1) 。若光程差沒有變化時(shí)，探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。若光程差有變化時(shí)，探測器會在每一次光程變化時(shí)，在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號，這些變化會被計(jì)算并用來測量兩個(gè)光程之間的差異變化。